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特點(diǎn)

高精度CNC表面粗糙度／形狀測量儀，一機(jī)二用：可進(jìn)行表面粗糙度和形狀／輪廓測量。

每軸驅(qū)動(dòng)速度*高可達(dá)200mm/秒，實(shí)現(xiàn)高速定位，滿足多輪廓／多工件的測量任務(wù)。

帶á軸的機(jī)型可通過電動(dòng)傾斜檢測器，對水平和傾斜表面進(jìn)行連續(xù)測量。

帶Y軸工作臺的機(jī)型可通過Y軸軸向定位，擴(kuò)大測量任務(wù)的范圍，如多工件任務(wù)等。

SV-C4000CNC系列的輪廓驅(qū)動(dòng)器配備激光全息光柵尺，可提高寬／窄范圍測量精度和Z1軸分辨率。

通過同時(shí)控制X軸和Y軸的方向，可實(shí)現(xiàn)傾斜平面的測量。

通過簡單的一次性操作，可更換形狀／輪廓測量裝置與表面粗糙度測量裝置，并且，不必對連接電纜重新布線。

由于Z1軸檢測器內(nèi)置了防撞器，當(dāng)檢測器主體即將碰撞工件或夾具時(shí)，檢測器將自動(dòng)停機(jī)。

配有易于操作的遙控箱：通過兩個(gè)操縱桿，選定需要操作的軸，即可實(shí)現(xiàn)任何移動(dòng)。鍵上端的軸向圖標(biāo)易于辨認(rèn)，輕松操作。

通過USB與數(shù)據(jù)處理／分析器通信。

基本技術(shù)參數(shù):

基座尺寸(WxH):750x600mm

基座材料:花崗巖

重量:240kg,250kg(高立柱型)

電源:100–240VAC±10%,50/60Hz

能耗:500W(主機(jī))

輪廓測量技術(shù)參數(shù):

X1軸

　測量范圍:200mm

　分辨率:0.05μm

　檢測方法:反射型線性編碼器

　驅(qū)動(dòng)速度:200mm/s(*大CNC)

0-60mm/s(操縱桿)

　測量速度:0.02-2mm/s

　移動(dòng)方向:向前／向后

　直線度:2μm/200mm

*以X軸為水平方向上

　指示精度:±(1+0.02L)μm,　(20°C時(shí))*L為驅(qū)動(dòng)長度(mm)

a軸

　傾角:-45°至+10°

　分辨率:0.000225°

　旋轉(zhuǎn)速度:1rpm

Z2軸(立柱)

　垂直移動(dòng):300mm或500mm

　分辨率:0.05μm

　檢測方法:反射型線性編碼器

　驅(qū)動(dòng)速度:200mm/s(*大CNC)

0-60mm/s(操縱桿)

Z1軸(檢測器)

　測量范圍:±25mm

　分辨率:0.2μm(SV-C3100CNC),0.05μm(SV-C4100CNC)

　檢測方法:線性編碼器(SV-C3100CNC),

激光全息測微計(jì)(SV-C4100CNC)

　直線位移:±(3+I2HI/25)μm(SV-C3100CNC)

精度：(20°C時(shí))±(0.8+I0.5HI/25)μm(SV-C4100CNC)

*H為基于水平位置的測量高度(mm)

　測針上／下運(yùn)作:弧形移動(dòng)

　測針方向:向下

　測力:30mN

　跟蹤角度:向上:70°,向下:70°(根據(jù)表面粗糙度，使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測針)

測針針尖**半徑:25μm、硬質(zhì)合金**

表面粗糙度測量的技術(shù)參數(shù)：

X1軸

　測量范圍:200mm

　分辨率:0.05μm

　檢測方法:反射型線性編碼器

　驅(qū)動(dòng)速度:200mm/s(*大CNC)

0-60mm/s(操縱桿)

　測量速度:0.02-2mm/s

　移動(dòng)方向:向后

直線度:0.5μm/200mm

a軸

　傾角:-45°至+10°

　分辨率:0.000225°

　旋轉(zhuǎn)速度:1rpm

Z2軸(立柱)

　垂直移動(dòng):300mm或500mm

　分辨率:0.05μm

　檢測方法:反射型線性編碼器

　驅(qū)動(dòng)速度:200mm/s(*大CNC)

0-60mm/s(操縱桿)

檢測器(選件)

　范圍／分辨率:800μm/0.01μm,80μm/0.001μm,8μm/0.0001μm(使用測頭選件時(shí)，*大可達(dá)2400μm)

　檢測方法:無軌／有軌測量

　測力:4mN或0.75mN(低測力型)

　測針針尖:金剛石、90o/5μmR

(60o/2μmR:低測力型)

　導(dǎo)頭曲率半徑:40mm

　檢測方法:差動(dòng)電感式

選件

防震臺架

防震臺裝置:膜片空氣彈簧

自然頻率:2.5-3.5Hz

減震機(jī)構(gòu):阻尼孔

調(diào)水平裝置:帶機(jī)械閥的自動(dòng)控制裝置

氣源氣壓:0.4Mpa

承載:350kg

尺寸(WxDxH):1000x895x715mm

重量:280kg

Y軸工作臺裝置

測量范圍:200mm

*小讀數(shù):0.05μm

標(biāo)尺裝置:反射型線性編碼器

驅(qū)動(dòng)速度:200mm/s(*大CNC)

0-60mm/s(操縱桿)

*大承載能力:20kg

直線度:0.5μm/200mm

指示精度(20°C時(shí)):

±(2+2L/100)μm，輪廓模式

L為兩個(gè)測量點(diǎn)之間的距離(mm)

工作臺尺寸:200x200mm

尺寸(WxDxH):320x646x105mm

重量:35kg

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