如圖為羅茨泵轉(zhuǎn)子由0°轉(zhuǎn)到180°的抽氣過程。在0°位置時(圖中a)，下轉(zhuǎn)子從泵入口封入v0體積的氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)到45°位置時(圖中b)，該腔與排氣口相通。由于排氣側(cè)壓強較高，引起一部分氣體返沖過來。當(dāng)轉(zhuǎn)到90°位置時(圖中c)，下轉(zhuǎn)子封入的氣體，連同返沖的氣體一起排向泵外。這時，上轉(zhuǎn)子也從泵入口封入v0體積的氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)到135°時(圖中d)，上轉(zhuǎn)子封入的氣體與排氣口相通，重復(fù)上述過程。180°(圖e)位置和0°位置是一樣的。轉(zhuǎn)子主軸旋轉(zhuǎn)一周共排出四個v0體積的氣體。

　　羅茨真空泵的*大優(yōu)點是：在較低入口壓力時具有較高的抽氣速率，但它不能單獨使用，必須有一臺前級真空泵串聯(lián)。待被抽系統(tǒng)中的壓力被前級真空泵抽到羅茨真空泵允許入口壓力時，羅茨真空泵才能開始工作。并且在一般情況下，羅茨真空泵不允許高壓差時工作，否則將會過載和過熱而損壞，因此使用羅茨真空泵時必須合理地選用前級真空泵，安裝必要的保護(hù)設(shè)備。